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Pecvd-Kammer

Hallo, liebe Interessierte! Heute geht es um die PECVD-Kammer von Semixlab . Doch was ist PECVD überhaupt? PECVD ist die Abkürzung für plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung. Ein komplizierter Name also. Mit dieser Anlage werden unter anderem Computerchips und Solarzellen hergestellt.


Funktionsweise einer PECVD-Kammer in der Halbleiterfertigung

Sehen wir uns nun an, wie eine PECVD-Kammer zur Herstellung von Halbleiterchips verwendet wird. In der PECVD-Kammer werden spezielle Gase eingebracht. Bei Anlegen von Strom verwandeln sich diese Gase in Plasma. Dieses Plasma sorgt dafür, dass die Gase am Chip haften und sich zu einer extrem dünnen Schicht verschmelzen. Diese dünne Schicht ist für die einwandfreie Funktion des Chips äußerst wichtig.

Warum sollten Sie sich für die Semixlab Pecvd-Kammer entscheiden?

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