Silikonteile

Siliziumbauteile werden hauptsächlich aufgrund ihrer Materialanpassung an den Wafer verwendet. Dies allein macht sie nützlich, da dadurch das Risiko unerwünschter Abweichungen im Prozess minimiert wird. Sie kommen häufig in Ätz- und Beschichtungsumgebungen zum Einsatz. Die Leistung ist im Allgemeinen stabil, die Lebensdauer kann jedoch je nach Prozessintensität stark variieren.

Durch verbesserte Bearbeitung und Oberflächenbehandlung wurden diese Teile im Laufe der Zeit optimiert. Dennoch werden sie nicht immer aufgrund ihrer Langlebigkeit ausgewählt, sondern eher aufgrund ihrer Kompatibilität und Prozesskonstanz.