Glas-Kohlenstoff-Beschichtung

Glaskohlenstoffbeschichtungen werden typischerweise dann eingesetzt, wenn Reinheit oberste Priorität hat. Sie erzeugen eine glattere und reaktionsträgere Oberfläche auf Graphit, wodurch die Partikelbildung während des Betriebs reduziert wird.

Man findet es beispielsweise in Anwendungen wie dem Siliziumkristallwachstum, der Epitaxie oder bei MOCVD-Suszeptoren. In einigen Fällen wird es auch außerhalb der Halbleiterindustrie eingesetzt, beispielsweise in metallurgischen Werkzeugen.

Ein interessanter Anwendungsfall sind MBE-Systeme. Aufgrund seines höheren elektrischen Widerstands kann es bestimmten Bauteilen helfen, die Betriebstemperatur effizienter zu erreichen, mitunter sogar ohne zusätzliche Kühlung. Es ist zwar nicht die gängigste Beschichtung, kann aber in bestimmten Umgebungen – insbesondere dort, wo strenge Kontaminationskontrollen erforderlich sind – eine praktikable Option darstellen.