Pyrolytischer Graphit-beschichteter Tiegel

Der PG-beschichtete Kohlenstofftiegel ist ein speziell verarbeitetes Tiegelprodukt. Er wird üblicherweise zum Verdampfen, Schmelzen und Abscheiden von Materialien bei hohen Temperaturen und im Vakuum eingesetzt und spielt insbesondere bei Vakuumverdampfungsprozessen eine Schlüsselrolle. Das Kerndesign nutzt die hervorragenden physikalischen Eigenschaften von pyrolytischem Graphit, um die Innenwand oder die gesamte Oberfläche des Tiegels zu beschichten und so dessen Temperaturbeständigkeit, chemische Inertheit und thermische Homogenität zu verbessern.

Strukturelle Merkmale:

Matrixmaterial und Beschichtungsstruktur:

Suszeptormaterial: Unsere Graphittiegel bestehen aus Graphitmaterial als Substrat, um die allgemeine mechanische Festigkeit und Hitzebeständigkeit zu gewährleisten.

Pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung (PyC): Eine Schicht aus hochreinem, hochkristallinem pyrolytischem Graphit wird mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) gleichmäßig auf der Innen- oder Außenseite des Tiegels abgeschieden. Die Schichtdicke beträgt standardmäßig 30 µm. Die Beschichtung ist mehrschichtig und weist zwischen den Schichten eine hohe Anisotropie in Richtung des Kristallwachstums auf. Die Reinheit der Beschichtung liegt über 99.999 % und der Verunreinigungsgehalt unter 10 ppm. Dadurch eignet sie sich besonders für Prozesse mit hohen Reinheitsanforderungen. Wir unterstützen auch kundenspezifische Schichtdicken nach Ihren Wünschen.

Dichtheit und Erosionsbeständigkeit:

Unsere Beschichtungen weisen eine sehr geringe Porosität und eine glatte Oberfläche (z. B. spiegelpoliert) auf und schützen daher das Substrat vor chemischen Reaktionen zwischen der Schmelze und dem Tiegelgrundmaterial bei hohen Temperaturen und verlängern so die Lebensdauer des Tiegels.

In einem Vakuum und einer inerten Atmosphäre weist pyrolytischer Graphit eine ausgezeichnete Erosionsbeständigkeit auf, wodurch sichergestellt wird, dass das Material nicht durch eine chemische Reaktion mit dem Behälter oder durch Permeation in einer Hochtemperaturumgebung verunreinigt wird.

Verpackung für PG-beschichtete Kohlenstofftiegel

Unser pyrolytischer Graphit-beschichteter Tiegel wird in hochdichten Holzkisten und mit viel Schaumstoff verpackt und bei Lagerung und Transport sorgfältig behandelt, um die ursprüngliche Qualität unserer Produkte zu erhalten. Wir freuen uns auf Ihre Anfrage!

Besondere Rolle bei der Vakuumverdampfung:

1. Gleichmäßige Erwärmung und Verdampfungskontrolle:

Der auf die Innenwand des Tiegels beschichtete pyrolytische Graphit kann durch seine gute Wärmeleitfähigkeit eine gleichmäßige Temperaturverteilung während des Heizvorgangs gewährleisten, sodass das zu verdampfende Material im Vakuum stabil und gleichmäßig verdampfen kann.

2. Chemische Reaktionen und Verunreinigungen verhindern:

Die hohe Wärmeleitfähigkeit von pyrolytischem Graphit stellt sicher, dass das verdampfte Material (z. B. Aluminium) gleichmäßig erhitzt wird, was die Beschichtungsqualität verbessert; gleichzeitig verhindert die chemische Inertheit von PG, dass das geschmolzene Metall mit dem Tiegel reagiert, wodurch die Entstehung von Verunreinigungen sowie eine mögliche Kontamination vermieden werden.

3. Verbessern Sie die Prozessstabilität und Wiederholbarkeit:

Dank seiner hervorragenden Hochtemperaturbeständigkeit und geringen Wärmeausdehnung kann der Einsatz von PG-beschichteten Kohlenstofftiegeln Prozessschwankungen durch Temperaturschwankungen oder lokale Überhitzung deutlich reduzieren und so die Produktkonsistenz verbessern. Beispielsweise halten Graphittiegel mit PG-Beschichtung bei der Elektronenstrahlverdampfung dem Beschuss mit hochenergetischen Elektronenstrahlen stand, erhalten ihre strukturelle Stabilität und verhindern, dass das Material verflüchtigt und außer Kontrolle gerät.

4. Verlängern Sie die Lebensdauer der Geräte:

Die geringe Porosität und hohe Korrosionsbeständigkeit der pyrolytischen Graphitbeschichtung reduziert effektiv Materialerosion. Beispielsweise kann der pyrolytische Graphittiegel im Vakuumaluminierungsprozess 24 bis 52 Stunden lang ununterbrochen verwendet werden, was die Austauschhäufigkeit und die Produktionskosten erheblich reduziert.