Pyrolytische Graphitbeschichtung (PG)

PyC-Beschichtungen werden hauptsächlich in SiC-Kristallzuchtanlagen, insbesondere in PVT-Öfen, eingesetzt. Dabei geht es weniger um die Ausreizung von Temperaturgrenzen, sondern vielmehr um die Verbesserung des Langzeitverhaltens von Graphitbauteilen.

Die Beschichtung bildet eine relativ gleichmäßige Schicht auf Bauteilen wie Strömungsführungsringen oder Isolierstrukturen. Dies trägt dazu bei, das Eindringen von Gas zu reduzieren und kohlenstoffbedingte Verunreinigungen zu begrenzen, die andernfalls die Wachstumsumgebung beeinträchtigen könnten.

Im praktischen Einsatz sind PyC-beschichtete Strömungsführungsringe wohl am gebräuchlichsten, das gleiche Prinzip gilt aber auch für Stützringe oder Wärmeschilde. Für viele Anwender ist das Ziel hier einfach: die Stabilität des Systems über lange Zyklen hinweg zu gewährleisten, anstatt höhere Temperaturbeständigkeit anzustreben.