Träger für Quarz-Waferboote

Der Semixlab Quarzbootträger ist ein leistungsstarkes Trägerwerkzeug für die Halbleiter-, Photovoltaik-, LED- und Präzisionselektronikindustrie. Er besteht aus hochreinem synthetischem Quarzmaterial. Als zentrales Verbrauchsmaterial in Hochtemperaturprozessen sind Quarzbootträger aufgrund ihrer hervorragenden thermischen Stabilität, chemischen Inertheit und extrem langen Lebensdauer die idealen Träger für Wafer, Siliziumwafer, Glassubstrate und andere Präzisionskomponenten in Diffusions-, Temper-, Oxidations-, CVD- (Chemical Vapor Deposition) und anderen Prozessen und ermöglichen Kunden effiziente und stabile Produktionsprozesse.

Anwendungsszenarien bzw. Ausstattung: 

Halbleiterdiffusion, Glühen, Oxidation und CVD-Prozess (Chemical Vapor Deposition).

Unternehmensstärke

Semixlab Technology Co., Ltd. verfügt über zwei Forschungs- und Entwicklungszentren, zwei Produktionsstandorte, 2 Produktionslinien, über 2 Mitarbeiter und einen F&E-Investitionsanteil von über 12 %. Unsere Produktpalette findet hauptsächlich Anwendung in den Bereichen LED, integrierte Schaltkreise, Halbleiter der dritten Generation, Photovoltaik und weiteren Branchen. Semixlab verfügt über umfassende Forschungs- und Entwicklungskapazitäten, Produktion sowie integrierte Test- und Verifizierungskapazitäten. Gleichzeitig verbessern wir unsere Technologie und Ausrüstung kontinuierlich und investieren jährlich mehrere zehn Millionen Euro.

Maßgeschneiderte Dienstleistungen

Um den unterschiedlichen Anforderungen gerecht zu werden, bieten wir flexible Anpassungsdienste an und unterstützen die folgenden Parameteranpassungen:

Größenangaben: Anpassung an unterschiedliche Untergründe wie 8 Zoll und 12 Zoll oder individuelle Fertigung speziell geformter Strukturen nach Kundenzeichnungen.

Oberflächenbehandlung: Optionales Sandstrahlen, Beschichten (z. B. Siliziumkarbidbeschichtung) und andere Verfahren zur Verbesserung der Anwendbarkeit in bestimmten Szenarien.

Zubehörintegration: Kann mit Quarzsäulen, Schallwänden und anderen Komponenten zu einem kompletten Tragesystem kombiniert werden.

Qualitätssicherungssystem

Rohstoffprüfung: Importierter hochreiner Quarzsand, analysiert mittels ICP-MS (induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie).

Prozesskontrolle: CNC-Präzisionsbearbeitung + automatisierte Prüfung, Schlüsselmaßtoleranz ≤±0.05 mm.

Saubere Verpackung: Ultrareine Umweltverpackung der Klasse 100, um eine Kontamination während des Transports zu vermeiden.

Typische Anwendungsszenarien

Halbleiterherstellung: Wird für Hochtemperaturglühen, Oxidation und Dünnschichtabscheidungsprozesse von Wafern in Diffusionsöfen und Vertikalöfen verwendet.

Photovoltaikindustrie: Tragen und Übertragen von PERC- und TOPCon-Zellen in PECVD, Phosphordiffusion und anderen Prozessen.

LED-Epitaxie: Präzise Positionierung und epitaktisches Wachstum von Saphirsubstraten bei hohen Temperaturen in MOCVD-Geräten.

Forschungsgebiet: Materialsintern und -prüfung in Labor-Hochtemperaturöfen und Vakuumumgebungen.

1. Ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit

Der Quarzbootträger hält hohen Temperaturen über 1200 °C lange stand und weist einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten (ca. 5.5 × 10⁻⁷/℃) auf. Auch bei schnellem Abkühlen und Erhitzen bleibt die strukturelle Stabilität erhalten, wodurch Risse oder Verformungen durch thermische Belastung vermieden und die Prozesswiederholbarkeit gewährleistet wird.

2. Ultrahohe Reinheit und chemische Inertheit

Hergestellt aus hochreinem Quarzsand mit einer Reinheit von 99.99 % oder mehr, kein Niederschlag, keine Verschmutzung, verhindert wirksam, dass Metallionen oder partikuläre Verunreinigungen die Waferoberfläche bei hohen Temperaturen verunreinigen, besonders geeignet für fortschrittliche Prozesse mit strengen Sauberkeitsanforderungen (wie etwa Chipherstellung unter 7 nm).

3. Präzises Strukturdesign

Die Oberfläche des Bootträgers ist mit hoher Präzision poliert (Ra ≤ 0.2 μm) und mit einer patentierten Schlitzstruktur ausgestattet, die Substrate verschiedener Größen (wie etwa 8/12-Zoll-Wafer) stabil tragen kann, wodurch eine gleichmäßige Erwärmung und Gaszirkulation gewährleistet und die Prozessgleichmäßigkeit verbessert wird.

4. Ultralange Lebensdauer

Im Vergleich zu herkömmlichen Graphit- oder Keramikträgern weisen Quarzmaterialien eine hohe Korrosionsbeständigkeit und eine geringe Verlustrate in sauren/alkalischen Atmosphären auf. Der kontinuierliche Nutzungszyklus kann 12 bis 24 Monate erreichen, wodurch die Gesamtkosten für den Kunden erheblich gesenkt werden.