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CMP-Poliermittel
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CMP-Poliermittel


Herkunftsort: China, Kambodscha
Markenname: Semixlab
Modellnummer: SXL-1
Zertifizierung: ISO14001, ISO45001, ISO9001
Mindestbestellmenge: Vorbehaltlich der Verhandlung
Preis: Kontakt für individuelle Angebote
Verpackungsdetails: Standard Exportpaket
Lieferzeit: 15-30 Tage nach Auftragsbestätigung
Zahlungsbedingungen: T / T
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: 10 Tonnen/Monat
Beschreibung

CMP-Poliermittel (Chemical Mechanical Planarization) sind ein Schlüsselmaterial in den Bereichen Halbleiterherstellung, optisches Glas, integrierte Schaltkreise usw. und erzielen durch die synergistische Wirkung von chemischer Korrosion und mechanischem Schleifen eine Oberflächenglättung auf Nanoebene.

Anwendung:

CMP-Poliermittel sind entscheidende Schlüsselmaterialien im Bereich der Herstellung integrierter Schaltkreise und können in integrierten Schaltkreisen (ILD), Halbleiter-Monokristall-Siliziumwafern, Halbleiter-Siliziumkarbid, Shallow Trench Isolation (STI) für integrierte Schaltkreise, integriertem Schaltkreis-Polysilizium (Poly-Si), integrierten Schaltkreismetallen und metallischen Barriereschichten verwendet werden.

Mögliche Leistungen:

Analyse von Anwendungsszenarien beim Kunden, passende Materialien, Lösung technischer Probleme.

Firmenprofil:

Semixlab verfügt über zwei Labore und ein Expertenteam mit 2 Jahren Materialerfahrung sowie über F&E-, Produktions-, Test- und Verifizierungskapazitäten.

Spezifikationen

Leistungsindikatoren für Produkte der Ultra-High-Purity-Serie

Parameter SXL-1 SXL-2 SXL-3 SXL-4 SXL-5 SXL-6 SXL-7
Durchschnittliche Silica-Partikelgröße/nm 35 5 ± 45 5 ± 65 5 ± 75 5 ± 85 5 ± 100 5 ± 120 5 ±
Nanopartikelgrößenverteilung (PDI) <0.15 <0.15 <0.15 <0.15 <0.15 <0.15 <0.15
pH-Wert der Lösung 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4
Feststoffgehalt/% 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ±
Aussehen Hellblau Blau Weiß Nicht-gerade weiss Nicht-gerade weiss Nicht-gerade weiss Nicht-gerade weiss
Partikelmorphologie X X: S – kugelförmig; B – gebogen; P – erdnussförmig; T – bauchig; C – kettenförmig (aggregierter Zustand)
Stabilisierende Ionen Organische/Anorganische Amine
Rohstoffzusammensetzung Y Y:M-TMOS;E-TEOS;ME-TMOS+TEOS;EM-TEOS+TMOS
Metallverunreinigungsgehalt ≤ 300ppb
Anwendungen

Hauptanwendungsgebiete

Anwendungsrichtung Typisches Szenario
Halbleiterfertigung Integrierte Schaltkreise (IC) und Halbleitermaterialien der dritten Generation
Optik und Displaytechnik Optisches Glas, Linse und Anzeigefeld
Speichergeräte Festplattenplatten und 3D-NAND-Flash-Speicher
Advanced Packaging Wafer-Level-Packaging (WLP), TSV (Through Silicon Via)
Andere High-End-Anwendungen MEMS (Mikroelektromechanische Systeme) und medizinische Implantate

Bestätigung der ökologischen Kettenüberprüfung

Semixlab CMP-Poliermittel erfüllen die Zertifizierung der Halbleiterindustrie und haben die ISO 14001/45001/9001-Zertifizierung bestanden

Typischer Bewerbungsprozess

Rohmaterial → Schleifmittelsynthese (Oberflächenmodifizierung) → Schlammformulierung (Filtration/pH-Einstellung) → CMP-Polieren (EPD-Kontrolle) → Nachreinigung → Inspektion (AFM/KLA) → Optimierung der Datenrückmeldung

Durch die Optimierung der Prozessparameter hat das CMP-Poliermittel von Semixlab bahnbrechende Fortschritte im Bereich der inländischen High-End-Halbleiter-ICs erzielt und Importe im Halbleitermarkt schrittweise ersetzt. Es wird erfolgreich in der Produktion und Herstellung von LCD-, OLED- und anderen Displays eingesetzt. Für detaillierte technische Whitepaper oder Mustertests wenden Sie sich bitte an unseren technischen Support.

Wettbewerbsvorteilen

Vorteile des Semixlab CMP-Polierschleifkerns

a. Frei einstellbarer Partikeldurchmesser und Grad der Partikelaggregation;

b. Monodisperse Partikel mit gleichmäßiger Partikelgrößenverteilung;

c. Stabiles Dispersionssystem;

d. Großserienproduktion mit minimalen Chargenabweichungen;

e. Sehr stabil, beständig gegen Agglomeration und Sedimentation.

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