SiC-Waferboot
Semixlab SiC-Waferboote wurden speziell für die anspruchsvolle Hochtemperaturdiffusion in der Halbleiterfertigung entwickelt. Hergestellt aus dichtem, gesintertem Siliziumkarbid bieten sie außergewöhnliche Festigkeit, chemische Inertheit und partikelfreie Leistung bis 1,800 °C. Wir bieten Standard- und Sonderspezifikationen mit schneller Lieferung, gewährleisten zuverlässiges Waferhandling und verlängern die Produktlebensdauer für Ihre kritischen Prozesse.
Beschreibung
Ⅰ. Optimieren Sie Ihre Hochtemperatur-Diffusionsprozesse mit Semixlab SiC-Waferbooten
In der anspruchsvollen Welt der Halbleiterfertigung sind die Integrität und Reinheit Ihrer Wafer während Hochtemperaturdiffusionsprozessen von größter Bedeutung. Semixlab bietet SiC (Siliziumkarbid)-Waferboote an, die den strengsten Anforderungen der fortschrittlichen Fertigung gerecht werden, zuverlässige Leistung gewährleisten und Ihre Prozesserträge maximieren.

Ⅱ. SiC-Waferboot-Anwendungen:
Unsere horizontalen, quadratischen Waferboote aus SiC sind die ideale Lösung für die sichere Lagerung von Wafern während kritischer Hochtemperaturdiffusionsprozesse. Dank ihrer Stabilität und Präzision sind sie eine unverzichtbare Komponente in Anlagen, die für ihre Waferhandhabung höchste thermische und chemische Beständigkeit erfordern.
Ⅲ. Wesentliche Funktionen für anspruchsvolle Umgebungen:
Semixlab SiC-Wafer-Boote werden so hergestellt, dass sie über Schlüsseleigenschaften verfügen, die für den Erfolg in Hochtemperatur-Halbleiteranwendungen entscheidend sind:
●Außergewöhnliche Hochtemperaturfestigkeit: Unsere SiC-Waferboote behalten ihre strukturelle Integrität und Form auch unter extremer thermischer Belastung und verhindern so ein Verziehen oder Deformieren, das die Waferausrichtung und Prozesskonsistenz beeinträchtigen könnte.
●Überragende chemische Stabilität bei hohen Temperaturen: Unsere aus hochentwickeltem Siliziumkarbid gefertigten Schiffchen weisen eine hervorragende Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen und Chemikalien auf, die üblicherweise in Diffusionsöfen verwendet werden. Dadurch wird das Kontaminationsrisiko minimiert und die Produktlebensdauer verlängert.
●Keine Partikelerzeugung: Wir wissen, dass mikroskopisch kleine Partikel die Geräteleistung erheblich beeinträchtigen können. Unsere sorgfältigen Herstellungsverfahren stellen sicher, dass Semixlab SiC-Waferboote praktisch partikelfrei sind und Ihre wertvollen Wafer vor Verunreinigungen schützen.
Ⅳ. Warum sollten Sie Semixlab für Ihre Wafer-Boote wählen?
Wenn Sie für Ihren SiC-Waferboot-Bedarf eine Partnerschaft mit Semixlab eingehen, entscheiden Sie sich für Qualität, Zuverlässigkeit und Präzision.
✔Vielfältige Spezifikationen und Anpassungen: Wir bieten eine breite Palette an Standardspezifikationen für SiC-Waferboote für verschiedene Ofentypen und Wafergrößen. Darüber hinaus bietet unser erfahrenes Engineering-Team umfassende Anpassungsservices für die Entwicklung und Fertigung maßgeschneiderter Lösungen, die genau auf Ihre individuellen Prozessanforderungen zugeschnitten sind.
✔Hochwertiges, dichtes, gesintertes Siliziumkarbidmaterial: Unsere SiC-Waferboote werden aus dichtem, gesintertem Siliziumkarbidmaterial hergestellt, das für seine hervorragenden mechanischen Eigenschaften, seine Wärmeleitfähigkeit und Reinheit bekannt ist, die für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen entscheidend sind.
✔Verlängerte Lebensdauer: Dank der inhärenten Haltbarkeit und Widerstandsfähigkeit von dicht gesintertem SiC bieten unsere Waferboote eine lange Betriebslebensdauer, wodurch die Austauschhäufigkeit erheblich reduziert und Ihre Gesamtbetriebskosten gesenkt werden.
Spezifikationen
| Physikalische Eigenschaften von gesintertem Siliziumkarbid | |
| Eigenschaft | Typischer Wert |
| Chemische Zusammensetzung | SiC > 95 %, Si < 5 % |
| Schüttdichte | >3.07 g/cm³ |
| Scheinbare PorositätScheinbare Porosität | <0.1% |
| Bruchmodul bei 20℃ | 270 MPa |
| Bruchmodul bei 1200℃ | 290 MPa |
| Härte bei 20℃ | 2400 kg/mm² |
| Bruchzähigkeit bei 20% | 3.3 MPa · m1/2 |
| Wärmeleitfähigkeit bei 1200℃ | 45 W/m²K |
| Wärmeausdehnung bei 20–1200 °C | 4.5 1 ×10-6/ ℃ |
| Max. Betriebstemperatur | 1400 ℃ |
| Thermoschockbeständigkeit bei 1200 °C | Gut |
Unsere Dienstleistungen

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