Quarzscheibe für den Halbleiterprozess

Die Halbleiterindustrie verlangt Komponenten von außergewöhnlicher Reinheit und Präzision. Quarzscheiben sind ein Eckpfeiler in diesem Bereich und spielen eine entscheidende Rolle in verschiedenen Hochtemperatur- und chemisch anspruchsvollen Halbleiterherstellungsprozessen. Die Semixlab-Quarzscheibe für die Halbleiterverarbeitung wird aus hochreinem synthetischem Quarzglas (SiO2) hergestellt und bietet außergewöhnliche thermische Stabilität, chemische Beständigkeit und extrem geringe Kontamination. Diese Halbleiter-Quarzscheiben werden für die CVD-Dünnschichtabscheidung, ALD, PVD-Sputtern, Diffusion/Glühen, RTP und Plasmaätzen (RIE/ICP) verwendet.

Materialeigenschaften und Eigenschaften

Unsere Halbleiter-Quarzscheiben werden aus hochreinem Quarzglas gefertigt, einem Material, das für seine außergewöhnlichen Eigenschaften bekannt ist. Zu den wichtigsten Merkmalen unserer Quarzscheiben gehören:

● Hohe Reinheit: Da unsere Quarzscheiben nur minimale Verunreinigungen enthalten, verhindern sie die Kontamination empfindlicher Halbleiterwafer, was für die Aufrechterhaltung der Geräteintegrität und -ausbeute von entscheidender Bedeutung ist.

● Hervorragende thermische Stabilität: Dank ihres niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten können Quarzscheiben extremen Temperaturschwankungen standhalten, ohne zu reißen oder sich zu verziehen. Dadurch eignen sie sich ideal für Hochtemperaturprozesse wie Glühen, Diffusion und Oxidation.

● Chemische Inertheit: Quarz ist äußerst beständig gegen die meisten Säuren und Chemikalien, die in der Halbleiterverarbeitung verwendet werden, einschließlich Flusssäure (HF) und Schwefelsäure (H2SO4). Diese chemische Inertheit gewährleistet eine stabile und nicht reaktive Umgebung für die Wafer.

● Hohe Transparenz: Quarzglas weist eine hohe Transparenz gegenüber ultraviolettem (UV) Licht auf, was für die Fotolithografie und andere optische Prozesse von entscheidender Bedeutung ist.

Unsere Quarzscheiben sind in verschiedenen Größen und Stärken erhältlich. Zu den typischen Parametern gehören:

● Reinheit: >99.995 %

● Wärmeausdehnungskoeffizient: ~0.54 x 10−6/°C (bei 20–300 °C)

● Erweichungspunkt: ~1600°C

● Verfügbare Durchmesser: Bis zu 300 mm

Anwendungen in der Halbleiterfertigung

Hochreine Quarzscheiben sind in mehreren wichtigen Halbleiterprozessen unverzichtbar. Zu ihren spezifischen Anwendungen gehören:

● CVD (Chemische Gasphasenabscheidung): Quarzscheiben werden als Suszeptorplatten oder Auskleidungen in CVD-Reaktoren verwendet. Ihre thermische Stabilität und chemische Inertheit gewährleisten eine gleichmäßige Erwärmung und eine kontaminationsfreie Umgebung für Dünnschichtabscheidungsprozesse.

● PVD (Physikalische Gasphasenabscheidung): Bei PVD-Prozessen wie dem Sputtern dienen Quarzscheiben als Targetträger oder Substrathalter. Sie halten der hohen kinetischen Energie des Abscheidungsprozesses stand und behalten gleichzeitig ihre Dimensionsstabilität.

● Oxidation und Diffusion: Als Auskleidung für Öfen oder als Waferbootkomponente sind Quarzscheiben ein wesentlicher Bestandteil von Hochtemperaturoxidations- und Diffusionsprozessen. Sie verhindern, dass Metallverunreinigungen von den Ofenwänden auf die Siliziumwafer gelangen.

● Glühen: Quarzscheiben bieten eine saubere und stabile Oberfläche für das thermische Glühen, ein Verfahren zur Reparatur von Kristallgitterschäden und zur Aktivierung von Dotierstoffen in Halbleiterbauelementen.

Semixlab-Vorteil: Ihr Partner in der Halbleiterfertigung

Bei Semixlab sind wir mehr als nur ein Hersteller von Halbleiter-Quarzscheiben. Wir sind ein Partner, der sich Ihrem Erfolg verschrieben hat und eine Reihe von Dienstleistungen anbietet, die Ihre Abläufe optimieren und Ihre Prozesseffizienz steigern.

● Anpassung: Wir wissen, dass jeder Herstellungsprozess einzigartig ist. Unser Team kann kundenspezifische Quarzscheiben herstellen, die auf Ihre spezifischen Abmessungen, Reinheits- oder Anwendungsanforderungen zugeschnitten sind.

● Technische Beratung: Unsere technischen Experten bieten Ihnen eine ausführliche Beratung, um Ihnen bei der Auswahl des idealen Quarzprodukts für Ihren spezifischen Prozess zu helfen und so optimale Leistung und Langlebigkeit zu gewährleisten.

● Rapid Prototyping und Musterservice: Wir bieten kurze Durchlaufzeiten für Prototypen und Muster, sodass Sie unsere Produkte schnell und effizient testen und validieren können. Dies beschleunigt Ihre F&E-Zyklen und verkürzt die Markteinführungszeit.

Für Prozessingenieure und Einkäufer, die zuverlässige Trägerplatten, Isolationsschilde und optische Stützen suchen, bietet Semixlab Quarzscheiben mit engen Toleranzen und geringer Defektquote, die den Ertrag verbessern und die Betriebszeit der Werkzeuge verlängern. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.