Quarzteile

Quarz ist in der Halbleiterfertigung nach wie vor allgegenwärtig. Er ist zwar nicht neu, aber zuverlässig, und die meisten Halbleiterhersteller kennen sein Verhalten. Solange die Reinheit kontrolliert wird, eignet er sich gut für Diffusions-, Oxidations- und Reinigungsprozesse.

Viele Quarzbauteile werden in Ofensystemen oder PECVD-Anlagen eingesetzt. Hauptsächlich wird Stabilität erwartet – nicht unbedingt eine lange Lebensdauer, sondern eine vorhersehbare Leistung. Das ist für viele Standardverfahren in der Regel ausreichend.

Quarz hat natürlich seine Grenzen. Unter bestimmten Bedingungen kann er schneller verschleißen, insbesondere im Vergleich zu Siliziumkarbid. Da er aber relativ leicht zu beschaffen und nicht allzu teuer ist, wird er immer noch häufig verwendet.