Pyrolytisch kohlenstoffbeschichteter Graphitring

Der hier abgebildete Graphitring wird in Anlagen zur Kristallzüchtung von Siliciumcarbid verwendet. Er ist üblicherweise im Inneren des Ofens um den Bereich des Wärmefelds herum angebracht und arbeitet während des Kristallwachstumsprozesses mit anderen Graphitteilen zusammen.

Dieser Ringtyp wird häufig in PVT-Züchtungsanlagen eingesetzt, in denen die Ofentemperatur über lange Zeiträume extrem hoch bleibt. Aufgrund der Betriebsbedingungen wird der Ring üblicherweise nach einer bestimmten Anzahl von Durchläufen ausgetauscht, anstatt ihn dauerhaft zu verwenden.

Das Basismaterial ist bearbeiteter Graphit mit einer PyC-Oberflächenschicht. Im Vergleich zu unbehandeltem Graphit ist die beschichtete Oberfläche bei hohen Betriebstemperaturen stabiler und gibt seltener Partikel in die Kammer ab.

In der praktischen Produktion kaufen viele Kunden diese Ringe wiederholt im Rahmen der routinemäßigen Ofenwartung und Produktionsplanung.

Produkt-Eigenschaften

PyC-Oberflächenschicht

Um die Stabilität unter Hochtemperaturbedingungen zu verbessern, wird eine pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung auf die Graphitoberfläche aufgebracht.

Für das SiC-Kristallwachstum

Hauptsächlich verwendet in Siliziumkarbid-Kristallzuchtöfen und zugehörigen thermischen Feldsystemen.

Stabiler Oberflächenzustand

Die Beschichtung trägt dazu bei, dass die Arbeitsfläche auch bei langen Heizzyklen sauber bleibt.

Serienfertigung

Die gleichen Spezifikationen können auch für Kunden, die mehrere Öfen betreiben, kontinuierlich bereitgestellt werden.

Bearbeitung nach Zeichnungen

Größe und Struktur können je nach Ofenkonstruktion angepasst werden.

Produktion & Lieferung

Unterschiedliche Ofenkonstruktionen erfordern unterschiedliche Graphitkonfigurationen, daher werden die meisten Ringe nach Kundenzeichnungen oder vorhandenen Mustern gefertigt.

Während der Fertigung werden Abmessungen und Beschichtungsdicke vor dem Versand geprüft. Für Kunden, die große Mengen in der kontinuierlichen Produktion benötigen, ist eine gleichbleibende Qualität zwischen den Chargen in der Regel ein Hauptanliegen.

Manche Nutzer bestellen nur wenige Stück zum Testen, während andere regelmäßig größere Mengen für den langfristigen Produktionseinsatz kaufen.

Semixlab

Semixlab liefert Graphit- und beschichtete Graphitprodukte für die Halbleiter- und Kristallzüchtungsindustrie. Die Produkte werden gemäß den Anwendungsanforderungen, der Ofenkonstruktion und den Kundenspezifikationen gefertigt.

Funktionen / Spezifi kationen

-Siliciumcarbid-Kristallwachstum

PVT-Ofensysteme

-Thermische Feldgraphit-Baugruppen

-Hochtemperatur-Ofenkomponenten

-Graphit-Verbrauchsmaterialien