Starrer Graphitfilz

Das starre Graphitfilz (RGF) von Semixlab wurde als wichtige Hochtemperaturisolierung und Wärmemanagementkomponente für das PVT-Verfahren (Physical Vapor Transport) zur Herstellung von SiC-Einkristallen entwickelt. Konzipiert für die Waferproduktion der nächsten Generation von 4H- und 6H-SiC, vereint dieses starre Filz extrem niedrige Wärmeleitfähigkeit, hohe strukturelle Integrität und außergewöhnliche chemische Reinheit und ist damit ein Eckpfeiler in Hochleistungs-SiC-Sublimationsöfen. Seine Anwendung gewährleistet die präzise Kontrolle von Temperaturgradienten, stabile Wachstumsbedingungen und eine verbesserte Kristallqualität über lange Produktionszyklen hinweg.

Im SiC-PVT-Prozess ist die Aufrechterhaltung eines gleichmäßigen und homogenen Temperaturfeldes entscheidend für die Herstellung fehlerfreier Einkristalle. Das Graphit-Hartfilz dient als primäre Ofenisolierung und umschließt den Sublimationstiegel sowie die Strukturen des Temperaturfeldes. Seine geringe Wärmeleitfähigkeit reduziert unerwünschte Wärmeverluste und gewährleistet den angestrebten Temperaturgradienten zwischen der SiC-Quelle und dem Impfkristall. Durch die Kontrolle der radialen und axialen Temperaturprofile minimiert das Hartfilz die Bildung von Basisebenenversetzungen, Stapelfehlern und Mikrokanälen, was sich direkt auf die strukturelle Integrität und die elektronischen Eigenschaften der resultierenden SiC-Wafer auswirkt.

Neben seinen Wärmedämmeigenschaften bietet das Graphitfilz von Semixlab dank seiner starren Struktur auch bei hohen Temperaturen von über 2000 °C mechanische Stabilität. Im Gegensatz zu flexiblen oder weichen Filzen behält RGF seine Form auch bei längeren Temperaturzyklen bei und verhindert so ein Zusammenfallen oder Verformen, das das Temperaturfeld stören oder die Lebensdauer des Ofens beeinträchtigen könnte. Seine chemische Inertheit minimiert die Freisetzung von Partikeln und verhindert eine Kontamination des SiC-Rohlings. Dies ist entscheidend für die Herstellung hochohmiger Substrate für Leistungselektronik und Anwendungen mit breiter Bandlücke.

Semixlab Graphit-Hartfilz wird aus hochreinem Graphitkohlenstoff und mithilfe fortschrittlicher Verdichtungstechniken hergestellt und zeichnet sich durch gleichmäßige Dichte, hervorragende Dimensionsstabilität und lange Lebensdauer aus. Die Kombination aus thermischer Leistungsfähigkeit und mechanischer Steifigkeit ermöglicht Halbleiterfabriken konsistente Wachstumsraten, reproduzierbare Temperaturprofile und reduzierte Ausfallzeiten in PVT-Systemen. Durch die Optimierung der Ofeneffizienz trägt RGF zudem zu Energieeinsparungen bei und verbessert gleichzeitig die Wafer-Gleichmäßigkeit und -Ausbeute.

Semixlabs starrer Graphitfilz bietet die Leistungsfähigkeit, Reinheit und strukturelle Stabilität, die für das Wachstum hochwertiger SiC-Einkristalle erforderlich sind, und bietet Herstellern eine robuste Materiallösung für die Waferproduktion der nächsten Generation, eine verlängerte Ofenlebensdauer und ein überlegenes Wärmemanagement in extremen Hochtemperaturumgebungen.